年度销售收入首次突破5000万元、1亿元、3亿元、5亿元、10亿元的，分别给予最高不超过100万元、150万元、200万元、300万元、500万元的奖励。 年度销售收入首次突破5亿元、10亿元、50亿元、100亿元的，分别给予最高不超过200万元、800万元、1200万元、1500万元的奖励。 支持其开展境内外非关联的并购重组，成功并购国内外集成电路产业链相关企业或重点研发机构，超过1000万的按实际发生额10%补贴。最高累计1000万元。 最高可按实际采购发票额20%予以补贴，补贴额度不超过1000万元。 按MPW直接费用，给予每家企业（模拟类最高100%、数字类最高60%）年度总额不超过300万元的资助。 按照流片费用，给予每家企业最高50%，对工艺制程在45nm以上的、年度资助总额不超过600万元，对工艺制程在45nm以下的、年度资助总额不超过2000万元。 按当年销售金额最高10%给予奖励，单款芯片产品年度奖励总额不超过500万元。 按照销售金额的最高30%，一次性给予不超过1000万元的奖励。
